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流動(dòng)控制技術(shù)是微流控系統(tǒng)原理功能分析和優(yōu)化設(shè)計(jì)的重要關(guān)鍵問題之一。由于微流控器件尺寸的縮小而引發(fā)的流動(dòng)尺度效應(yīng),液-固界面電場(chǎng)力,流場(chǎng)-電場(chǎng)-溫度場(chǎng)-離子運(yùn)動(dòng)多物理場(chǎng)耦合等效應(yīng),使得微流控系統(tǒng)流動(dòng)現(xiàn)象與宏觀系統(tǒng)有很大不同,雙電層和電滲流是其中與流體力學(xué)相關(guān)的最重要基礎(chǔ)問題之一。本文旨在對(duì)微流控系統(tǒng)電滲流控制和焦耳熱效應(yīng)進(jìn)行初步的分析與數(shù)值研究,探討微納尺度液體流動(dòng)的基本規(guī)律,為微流控芯片的研發(fā)提供理論依據(jù)和優(yōu)化設(shè)計(jì)手段。 論文采用數(shù)值方法分析有限長(zhǎng)異質(zhì)材料PDMS/玻璃微通道電滲流焦耳熱效應(yīng)。數(shù)值求解雙電層的Poisson-Boltzmann方程,液體流動(dòng)的Navier-Stokes方程和流-固耦合的熱輸運(yùn)方程,分析二維微通道電滲流的焦耳熱效應(yīng)和溫度場(chǎng)特性。考慮溫度變化對(duì)流體性質(zhì)特性(介電系數(shù)、粘度、熱和電傳導(dǎo)率等)的反饋?zhàn)饔谩?shù)值結(jié)果表明,在微通道進(jìn)口附近有一段熱發(fā)展長(zhǎng)度,這里的流動(dòng)速度、溫度、壓強(qiáng)和電場(chǎng)快速變化,然后在微通道內(nèi)趨向到一個(gè)穩(wěn)定狀態(tài)。在高電場(chǎng)和厚芯片的情況下,熱發(fā)展長(zhǎng)度可以占據(jù)電滲流微通道相當(dāng)一部分長(zhǎng)度。電滲流穩(wěn)定態(tài)溫度隨外加電場(chǎng)和芯片厚度的增加而升高。由于壁面異質(zhì)材料的傳熱特性差異,在穩(wěn)定態(tài)時(shí)的PDMS壁面溫度比玻璃壁面溫度高。研究還發(fā)現(xiàn)在微通道的縱向和橫向截面有溫度梯度。壁面溫升高降低雙電層電荷密度。微通道縱向溫度梯度誘發(fā)流體壓強(qiáng)梯度和改變微通道電場(chǎng)變化特性。微通道進(jìn)流溫度不改變熱穩(wěn)定態(tài)的溫度分布特征和熱發(fā)展長(zhǎng)度。 在微通道壁面垂直施加一個(gè)調(diào)控電場(chǎng)可以改變雙電層電荷密度和固壁面zeta電位,實(shí)現(xiàn)對(duì)電滲流的調(diào)控。采用流-固耦合雙電層Poisson方程,離子輸運(yùn)Nernst-Planck方程、液體流動(dòng)Navier-Stokes方程,數(shù)值求解連續(xù)電極與離散電極微通道的調(diào)控電滲流動(dòng)。得到感應(yīng)Zeta電位、電滲流速度與外加調(diào)控電壓的關(guān)系特性。離散電極-電場(chǎng)調(diào)控電滲流數(shù)值分析給出對(duì)稱和反對(duì)稱的單電極,雙電極和三電極的數(shù)值結(jié)果。研究結(jié)果表明,適當(dāng)設(shè)置離散電極對(duì)電滲流進(jìn)行調(diào)控,可以在流場(chǎng)中產(chǎn)生微型渦旋流動(dòng),實(shí)現(xiàn)液體的高效率混合。同時(shí),對(duì)橫向調(diào)控電場(chǎng)與縱向驅(qū)動(dòng)電場(chǎng)的相互作用也進(jìn)行討論。 論文研究了一種對(duì)稱電極組交變電滲流微泵結(jié)構(gòu),通過改變相鄰電極間的交變(AC)信號(hào)相位,可以方便實(shí)現(xiàn)對(duì)微通道電滲流向的控制。根據(jù)雙電層離子數(shù)的空間位阻效應(yīng)修正,數(shù)值求解了雙電層Poisson-Boltzmann方程、液體流動(dòng)Navier-Stokes方程,得到了對(duì)稱電極組交流電滲微泵的流動(dòng)特性。分析了微泵流速與交流電壓幅值、頻率等參數(shù)的關(guān)系特性,并且與雙電層Debye-Huckel線性解進(jìn)行比較。結(jié)果表明,空間位阻效應(yīng)修正在低電壓時(shí)與Debye-Huckel線性解一致,但是在高電壓時(shí)會(huì)產(chǎn)生高頻反向流動(dòng)。 為了滿足微電子封裝過程對(duì)器件溫度變化的精確控制,本文研究一種快速升降溫度的微流體溫度控制器,數(shù)值模擬了控制器的液體—固體—空氣一體化的流動(dòng)—熱傳導(dǎo)過程。在給定進(jìn)口液體溫度變化特征的情況下,通過數(shù)值分析考察溫度控制器表面溫度對(duì)進(jìn)口液體溫度變化的響應(yīng)特性,包括時(shí)間跟隨性(傳熱靈敏度)和溫度變化振幅的衰減率(傳熱效率)。論文還考察控制器結(jié)構(gòu)尺度,進(jìn)口液體速度,溫度變化波形,周期等參數(shù)對(duì)溫度控制器的特性影響。數(shù)值結(jié)果表明：控制器厚度增加,控制器表面溫度變化幅值衰減增大；控制器進(jìn)口流速大,控制器表面溫度變化幅值衰減率小；進(jìn)口液體溫度變化周期短,傳感器表面溫度變化幅值衰減增大；進(jìn)口溫度變化方形波的傳熱效率大于三角波形;傳感器表面溫度變化周期與進(jìn)口溫度周期相同,但存在相位差。